IEC 62047-2-2006 半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法

作者:标准资料网 时间:2024-05-17 01:19:27  浏览:8264   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part2:Tensiletestingmethodofthinfilmmaterials
【原文标准名称】:半导体装置.微型机电装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
【标准号】:IEC62047-2-2006
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2006-08
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/TC47
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;特性;试样;半导体器件;规范(验收);符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验条件;试验装置;薄膜技术
【英文主题词】:Components;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Properties;Samples;Semiconductordevices;Specification(approval);Symbols;Systemengineering;Tensilestrain;Tensiletesting;Testing;Testingconditions;Testingdevices;Thinfilms;Thin-filmtechnology
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesthemethodfortensiletestingofthinfilmmaterialswithlengthandwidthunder1mmandthicknessunder10μm,whicharemainstructuralmaterialsformicro-electromechanicalsystems(MEMS),micromachinesandsimilardevices.ThemainstructuralmaterialsforMEMS,micromachinesandsimilardeviceshavespecialfeaturessuchastypicaldimensionsintheorderofafewmicrons,amaterialfabricationbydeposition,andatestpiecefabricationbynon-mechanicalmachiningusingetchingandphotolithography.ThisInternationalStandardspecifiesthetestingmethod,whichenablesaguaranteeofaccuracycorrespondingtothespecialfeatures.
【中国标准分类号】:L94
【国际标准分类号】:31_080_01;31_080_99;31_220_01
【页数】:25P;A4
【正文语种】:英语